[实用新型]中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备无效
| 申请号： | 200920238946.6 | 申请日： | 2009-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN201525883U | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 蔡新明;房颜辉;张化明;井庆刚;温胜刚 | 申请（专利权）人： | 山东力诺新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34;F24J2/05 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 李桂存 |
| 地址： | 251600 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备。其包括：预备室；溅射室；外传输轨道，为设置在环形的、气密封的转运管道内的轨道，包括所述预备室、溅射室在内的真空室按照溅射工序顺序依次排列在该外传输轨道上，所述内轨道通过换向装置与该外传输轨道相连；隔离室，位于所述预备室与所述外传输轨道运行方向上的第一个溅射室间，作为低真空与高真空室之间的隔离；抽真空装置；以及真空锁，设置在所述转运轨道内相邻真空室间，用于真空室间的真空隔离。本生产设备结构紧凑，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 中温全 玻璃 真空 太阳 热管 连续 镀膜 生产 设备 | ||
【主权项】：
一种中温全玻璃真空太阳集热管连续镀膜生产设备，其特征在于其包括：预备室(7)，作为镀膜生产设备上集热管的装卸空间；溅射室(4)，具有与镀膜层数一致的数量，用于镀膜的溅射，内部设有内轨道(12)；外传输轨道，为设置在环形的、气密封的转运管道(6)内的轨道，包括所述预备室、溅射室在内的真空室按照溅射工序顺序依次排列在该外传输轨道上，所述内轨道通过换向装置与该外传输轨道相连；隔离室(8)，位于所述预备室与所述外传输轨道运行方向上的第一个溅射室间，作为低真空与高真空室之间的隔离；抽真空装置，用于匹配所述真空室以获得相应的真空度；以及真空锁(5)，设置在所述转运轨道内相邻真空室间，用于真空室间的真空隔离。
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