[实用新型]铝或铝合金溅射靶材包装件有效

专利信息
申请号: 200920267110.9 申请日: 2009-11-18
公开(公告)号: CN201545361U 公开(公告)日: 2010-08-11
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;王学泽;郑文翔;刘庆 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料有限公司
主分类号: B65D85/00 分类号: B65D85/00;B65D65/02;B65D65/42;B65D30/02;B65D81/20;B32B15/08;B32B15/20
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 李丽
地址: 315400 浙江省余*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型提供一种铝或铝合金溅射靶材包装件,其具有铝或铝合金溅射靶材和包覆该溅射靶材的包装体,所述包装件由氧气透过量在5ml/m2·24h·MPa以下、透湿量在3ml/m2·24hr以下的塑料膜制成,且所述塑料膜的一个或二个表面涂有例如为铝箔的涂覆层。所述包装件为真空密封包装件,且所述包装件还可为多层包装。根据本实用新型,可以保持铝或铝合金溅射靶材表面的金属特性稳定、防止起表面发生氧化反应,延长铝溅射靶材的保存时间,给生产、运输、供货及销售等提供便利;同时有效地保证溅射镀膜的溅射效率、溅射效果以及溅射成膜的质量。
搜索关键词: 铝合金 溅射 包装
【主权项】:
一种铝或铝合金溅射靶材包装件,具有铝或铝合金溅射靶材和包覆该溅射靶材的包装体,所述包装体由氧气透过量在5ml/m2·24hr·MPa以下、透湿量在3ml/m2·24hr以下的塑料膜制成。
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