[实用新型]薄型基板湿制程装置有效
| 申请号： | 200920267997.1 | 申请日： | 2009-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN201534123U | 公开（公告）日： | 2010-07-28 |
| 发明（设计）人： | 钟添达;杨延鸿;苏绍君;罗泽民;谢东桦 | 申请（专利权）人： | 扬博科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B15/00;B05B15/12;B05C5/00;B05C13/02;B05D3/00;H05K3/00 |
| 代理公司： | 中国商标专利事务所有限公司 11234 | 代理人： | 万学堂;宋迎 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种薄型基板湿制程装置，其是包括一湿制程箱体以及一运送装置，该湿制程箱体两端部形成有一入口以及一出口，且于两侧接近该入口处各设有一直立式低喷速喷液装置，且该湿制程箱体的两侧且邻近于直立式低喷速喷液装置各设有一喷洒装置，该运送装置具有一设置于该湿制程箱体的顶部的运送轨道以及一移动式地与该运送轨道结合的夹具，以于该运送轨道中移动。通过该直立式低喷速喷液装置，所以能够在薄型基板通过喷洒装置之前被喷湿，湿润的薄型基板的重量提高，避免薄型基板因晃动而与箱体内的喷嘴等组件碰触，所以能使提高该薄型基板的制作良率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄型基板湿制程 装置 | ||
【主权项】：
一种薄型基板湿制程装置，其特征在于，其是包括：一湿制程箱体，其两端部形成有一入口以及一出口，且于两侧接近该入口处各设有一直立式低喷速喷液装置，且该湿制程箱体的两侧且邻近于直立式低喷速喷液装置各设有一喷洒装置；一运送装置，其是具有一运送轨道以及一夹具，该运送轨道是设置于该湿制程箱体的顶部，且设置于该等喷洒装置之间的位置，而该夹具是移动式地与该运送轨道结合，以于该运送轨道中移动。
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