[实用新型]溅镀机构以及包含其的溅镀装置无效
| 申请号： | 200920268882.4 | 申请日： | 2009-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN201530861U | 公开（公告）日： | 2010-07-21 |
| 发明（设计）人： | 林伟德;杨宏河;孙湘平;张元铭;廖泯谚 | 申请（专利权）人： | 富临科技工程股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种溅镀机构以及包含有此溅镀机构的溅镀装置，溅镀机构包括：多数个电极靶材单元，配置于同一平面，每一电极靶材单元的同一侧配置有至少一第一磁场单元；以及多数个平移装置；其中，每一第一磁场单元独立配置有平移装置，且第一磁场单元包括有至少一磁石以及第一磁石支撑座，至少一磁石以及第一磁石支撑座互相连接。本实用新型的溅镀机构中，磁石滑动方式由传统中所有磁石组相连接改为可独立作动，可使磁场单元作用模式更具变化性，更提高溅镀成膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 机构 以及 包含 装置 | ||
【主权项】：
一种溅镀机构，其特征在于，包括：多数个电极靶材单元，配置于同一平面，该每一电极靶材单元的同一侧配置有至少一第一磁场单元；以及多数个平移装置；其中，该每一第一磁场单元独立配置有该平移装置，且该第一磁场单元包括有至少一磁石以及一第一磁石支撑座，该至少一磁石以及该第一磁石支撑座互相连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富临科技工程股份有限公司，未经富临科技工程股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920268882.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种摩托车的热风装置
- 下一篇：一种内燃机车架修支撑架
- 同类专利
- 专利分类
