[发明专利]成膜方法以及防油性基材有效
| 申请号： | 200980100652.X | 申请日： | 2009-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN102084025A | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 盐野一郎;长江亦周;姜友松;菅原卓哉 | 申请（专利权）人： | 新柯隆株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C03C17/42;C23C14/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种成膜方法，该成膜方法具有：在基板(101)的表面成膜硬度比基板(101)的硬度高的第一膜(103)的第一成膜工序；对第一膜(103)照射具有能量的粒子的第一照射工序；在第一照射工序后的第一膜(103)的表面成膜防油性膜(105)的第二成膜工序。根据该发明提供的成膜方法，能够制造具有防油性膜的防油性基材，该防油性膜具备能够耐用的耐磨损性。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 以及 油性 基材 | ||
【主权项】：
一种成膜方法，其特征在于，包括：使用干式法在基板的表面上成膜第一膜的第一成膜工序；对所述第一膜照射具有能量的粒子的第一照射工序；在所述第一照射工序后的所述第一膜的表面成膜具有防油性的第二膜的第二成膜工序。
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