[发明专利]阀门装置及电子元件的温度调节装置无效
| 申请号： | 200980100975.9 | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN102007329A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 井出忠辉;山下毅 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱德万测试 |
| 主分类号： | F16K11/085 | 分类号： | F16K11/085;F16K11/07;H01L21/66;H05K7/20 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 高占元 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 调节用于调节被测试电子元件温度的冷媒及热媒流量的阀门装置(40)，包括可以流通冷媒及热媒的流路(52a～52c)和集合这些流路(52a～52c)的集部(65)，集合部(65)的内部具有形成有第1槽(72)的阀门轴(70)，阀门轴(70)通过使第1槽(72)面向流路(52a～52c)中的至少两个，连通流路(52a～52c)中的至少两个。 | ||
| 搜索关键词： | 阀门 装置 电子元件 温度 调节 | ||
【主权项】：
一种阀门装置，作为调节用于调节被测试电子元件温度的复数种流体的流量的阀门装置，其特征在于，包括复数个可以流通流体的流路和集合复数个流路的集合部，所述集合部的内部具有形成有第1槽的转换部件，所述转换部件通过使所述第1槽面向复数个所述流路中的至少两个流路，连通至少两个所述流路。
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