[发明专利]多光束钻孔系统有效
申请号: | 200980101729.5 | 申请日: | 2009-01-11 |
公开(公告)号: | CN101909804A | 公开(公告)日: | 2010-12-08 |
发明(设计)人: | B·纳韦;Z·柯特勒;H·格兰 | 申请(专利权)人: | 以色列商奥宝科技股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/00 | 分类号: | B23K26/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 任永武 |
地址: | 以色列*** | 国省代码: | 以色列;IL |
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摘要: | 本发明涉及一种于一基板(44)中具有变化同时性的激光钻孔方法,包含:操作一激光(22),以产生一单一输出光束(24),该单一输出光束(24)的多个脉波具有一总能量;以随时间变化的一程度,划分该单一输出光束为多个光束(41);以及施加该多个光束至该基板上的多个钻孔位置(209、210、212、214、216、218、220、222),包含:利用该多个光束中具有一脉波能量的相应光束,同时钻制多个孔的第一部分,该脉波能量是该总能量的一第一分率;以及,此后利用该多个光束中分别具有一脉波能量的至少一个光束,钻制该多个孔至少其中之一的至少一第二部分,该脉波能量是该总能量的至少一第二分率,该第二分率是不同于该第一分率。 | ||
搜索关键词: | 光束 钻孔 系统 | ||
【主权项】:
一种于一基板中具有变化同时性的激光钻孔方法,包含:操作一激光,以产生一单一输出光束,该单一输出光束的多个脉波具有一总能量;以随时间变化的一程度,划分该单一输出光束为多个光束;以及施加该多个光束至该基板上的多个钻孔位置,包含:利用该多个光束中具有一脉波能量的相应光束,同时钻制多个孔的第一部分,该脉波能量是该总能量的一第一分率;以及此后,利用该多个光束中分别具有一脉波能量的至少一个光束,钻制该多个孔至少其中之一的至少一第二部分,该脉波能量是该总能量的至少一第二分率,该第二分率系不同于该第一分率。
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