[发明专利]压电器件有效
| 申请号： | 200980101968.0 | 申请日： | 2009-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN101911485A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 工藤敬实;高峰裕一;筏克弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H01L23/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张远 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种不改变IDT电极和支撑层之间的距离就能改善温度特性的压电器件。一种压电器件包括：(a)压电基板，(b)形成在压电基板的一个主表面(11a)上、含IDT电极(12)的导电图案，(c)在压电基板的一个主表面(11a)上，围绕在形成有IDT电极(12)的IDT形成区域的周围、且具有比IDT电极(12)的厚度更大厚度的支撑层(20)，以及(d)在支撑层之上配置的、覆盖IDT形成区域的覆盖层。在支撑层(20)中，至少在靠近IDT形成区域的区域的多个部位，形成部分地去除了与压电基板的一个主表面(11a)粘合的部分的去除部(24)。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 器件 | ||
【主权项】：
一种压电器件，其特征在于，包括：压电基板；在所述压电基板的一个主表面上形成的、含IDT电极的导电图案；在所述压电基板的所述一个主表面上，围绕在形成有所述IDT电极的IDT形成区域的周围、且具有比所述IDT电极的厚度更大厚度的支撑层；以及在所述支撑层之上配置的、覆盖所述IDT形成区域的覆盖层；在所述支撑层中，至少在靠近所述IDT形成区域的区域的多个部位，形成部分地去除了与所述压电基板的所述一个主表面粘合的部分的去除部。
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