[发明专利]加热的喷头组件有效

专利信息
申请号: 200980102058.4 申请日: 2009-01-07
公开(公告)号: CN101911262A 公开(公告)日: 2010-12-08
发明(设计)人: 詹姆斯·D·卡达希;欧加·莱格拉曼;卡洛·贝拉;道格拉斯·A·布池贝尔格尔;保罗·比瑞哈特 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/3065 分类号: H01L21/3065;H01L21/00
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人: 柳春雷;南霆
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明一般而言包含加热的喷头组件,其可用来供应处理气体至处理腔室。该处理腔室可以是蚀刻腔室。当该处理气体从该处理腔室排出时,均匀处理该衬底会有难度。将该处理气体抽离该衬底并朝向该真空泵推送时,衬底上的等离子体,在蚀刻的情况下可能会不均匀。不均匀的等离子体可造成不均匀蚀刻。为了避免不均匀蚀刻,可将该喷头组件分为两个区域,每一个区域均具有可独立控制的气体导入及温度控制。该第一区域对应该衬底的边缘,而该第二区域对应该衬底的中心。通过独立控制温度及通过该喷头区域的气流,可增加该衬底的蚀刻均匀性。
搜索关键词: 加热 喷头 组件
【主权项】:
一种喷头,其包含:喷头主体,其具有:环绕第二区域的第一区域,其中,所述第一区域具有:第一气室,设置在所述主体的一第一侧;一个或多个第二气室,设置在所述主体的第二侧;以及复数个第一孔,配置在复数个第一环状图案中,所述复数个第一孔从所述第一气室延伸至所述一或多个第二气室;并且所述第二区域具有:第三气室,设置在所述主体的第一侧;一个或多个第四气室,设置在所述主体的第二侧;以及复数个第二孔,配置在复数个第二环状图案中,所述复数个第二孔从所述第三气室延伸至所述一或多个第四气室。
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