[发明专利]用于制造电子器件的方法和电子器件有效
| 申请号： | 200980103673.7 | 申请日： | 2009-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN101933174A | 公开（公告）日： | 2010-12-29 |
| 发明（设计）人： | C·施米德;T·施伦克;H·朱尔;R·佩佐尔德;M·克莱因;K·霍伊泽尔 | 申请（专利权）人： | 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张涛;李家麟 |
| 地址： | 德国雷*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于制造电子器件的方法，该电子器件具有用于封装该器件的阻挡层，该方法尤其具有如下步骤：提供具有至少一个功能层(22)的衬底(1)，借助于等离子体增强原子层沉积(PEALD)将至少一个第一阻挡层(3)涂覆在功能层(22)上，以及借助于等离子体增强化学气相沉积(PECVD)将至少一个第二阻挡层(4)涂覆在功能层(22)上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 电子器件 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造电子器件的方法，该电子器件具有用于封装该器件的阻挡层，该方法具有如下步骤： 提供具有至少一个功能层(22)的衬底(1)， 借助于等离子体增强原子层沉积(PEALD)将至少一个第一阻挡层(3)涂覆在功能层(22)上，以及 借助于等离子体增强化学气相沉积(PECVD)将至少一个第二阻挡层(4)涂覆在功能层(22)上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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