[发明专利]运作电子装置制造系统的方法与设备有效
| 申请号： | 200980104225.9 | 申请日： | 2009-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN101939713A | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·O·克拉克;菲尔·钱德勒;肖恩·W·柯若弗德;杰伊·J·俊;优瑟夫·A·罗勒迪;马克西米·凯耶尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;G05B19/05 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 王安武;南霆 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种有效运作电子装置制造系统的方法与设备。根据一个方面，提供了一种电子装置制造系统，包括：处理工具；处理工具控制器，其连接至该处理工具，其中该处理工具控制器用以控制该处理工具；第一次晶圆厂辅助系统，其连接至该处理工具控制器；其中该第一次晶圆厂辅助系统用以在第一运作模式与第二运作模式中运作；以及其中该处理工具控制器用以使该第一次晶圆厂辅助系统从该第一运作模式改变至该第二运作模式。 | ||
| 搜索关键词： | 运作 电子 装置 制造 系统 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种电子装置制造系统，包括：处理工。具；处理工具控制器，其连接至所述处理工具，其中所述处理工具控制器用以控制所述处理工具；第一次晶圆厂辅助系统，其连接至所述处理工具控制器；其中所述第一次晶圆厂辅助系统用以在第一运作模式与第二运作模式中运作；并且其中所述处理工具控制器用以使所述第一次晶圆厂辅助系统从所述第一运作模式改变至所述第二运作模式。
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