[发明专利]探针卡

摘要

本发明的目的是提供一种探针卡，所述探针卡即使在老化测试中暴露于高温后，也具有在测试用电极和被测试电极之间的连接的良好稳定性，并且即使在重复使用探针卡后，也对于在测试用电极和导电部之间或在导电部和探针或被测试电极之间的接触位置的偏移较不敏感。本发明的探针卡是包括测试用电路板和各向异性导电构件的探针卡，测试用电路板具有形成的测试用电极以对应于被测试电极，各向异性导电构件电连接被测试电极与测试用电极。使测试用电极形成为使得至少该测试用电极的端部从测试用电路板的表面突出，并且各向异性导电构件是具有绝缘基底和多个由导电材料制成的导电通路的构件，绝缘基底由其中具有微孔的阳极氧化铝膜制成，多个导电通路彼此绝缘，并且在绝缘基底的厚度方向延伸贯穿绝缘基底。

主权项

一种探针卡，所述探针卡通过与被测试物体的被测试电极接触以测试所述被测试物体的电学性质，所述探针卡包括：测试用电路板，所述测试用电路板具有形成的测试用电极以对应于所述被测试电极；和各向异性导电构件，所述各向异性导电构件将所述被测试电极与所述测试用电极电连接，其中使所述测试用电极形成为使得至少所述测试用电极的端部从所述测试用电路板的表面突出，并且其中所述各向异性导电构件是具有绝缘基底和多个由导电材料制成的导电通路的构件，所述导电通路彼此绝缘，并且在所述绝缘基底的厚度方向上延伸贯穿所述绝缘基底，每个所述导电通路的一端从所述绝缘基底的一侧突出，并且每个所述导电通路的另一端从所述绝缘基底的另一侧突出，并且其中所述绝缘基底是由其中具有微孔的阳极氧化铝膜组成的结构体。