[发明专利]含有钌和碱土金属的三元氧化物膜的沉积

摘要

本发明涉及用于沉积包含钌和碱土金属的三元氧化物膜的方法和组合物。

主权项

一种在一个或多个基板上形成三元氧化物膜的方法，其包括：a)提供至少一个置于反应器中的基板；b)将呈蒸气形式的钌前体引入所述反应器中，其中所述钌前体包括四氧化钌或具有如下通式的含钌前体：(L)mRu(L′)n且其中：‑L为不饱和的、环状或直链η4‑η6型烃配体；‑L′为独立地选自如下的直链或支链配体：羰基、碳烯、脒基、β‑二酮基、烷基、烷氧基、氢、烷基氨基、卤素、二酮亚胺、烯胺酮、二氮杂丁二烯、乙胺和甲脒；‑0≤n或m≤3；c)将呈蒸气形式的碱土金属前体引入所述反应器中，其中所述碱土金属前体包括具有如下通式的含碱土金属前体：A(RxCp)2R′y且其中：‑A为钙、锶或钡；‑R为独立地选自如下的直链或支链配体：C1‑C4烷基、烷氧基、甲硅烷基和卤素；‑R′为含有N、P或O的直链或环状烃配体；‑0≤x≤5；且‑0≤y≤2；d)在至少一个基板上沉积所述钌前体和所述碱土金属前体的至少一部分以形成三元氧化物膜。