[发明专利]支架载置台无效
| 申请号： | 200980114297.1 | 申请日： | 2009-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN102016697A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 许官善 | 申请（专利权）人： | 泰拉半导体株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种支架载置台，在基板处理系统中该支架载置台排列玻璃基板以及/或者支架的位置，以便玻璃基板能够以排列并安装在支架上的状态被加载到基板装载盘上。根据本发明的支架载置台(100)用于装载并收纳支架(140)以及与该支架(140)相对应的玻璃基板(10)，该支架载置台(100)包括：同时排列支架(140)和玻璃基板(10)的对准部(200)，以及旋转上述对准部(200)的对准旋转部(150)。 | ||
| 搜索关键词： | 支架 载置台 | ||
【主权项】：
一种支架载置台，用于装载并收纳支架以及与该支架相对应的玻璃基板，其特征在于，包括：对准部，其同时排列上述支架和上述玻璃基板；以及对准旋转部，其旋转上述对准部。
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