[发明专利]研磨装置及研磨方法有效
| 申请号： | 200980120615.5 | 申请日： | 2009-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN102046330A | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 坂本裕二;山本晋宏;增成诚治 | 申请（专利权）人： | 株式会社石井表记 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B41/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨装置及研磨方法。所述研磨装置中，在由输送具有挠性的板状工件(P)的多个输送辊(6、9)形成的输送路径(3A、3B、3C)的中途，对置配置夹持板状工件(P)的一对夹持辊(12、13)，利用所述夹持辊(12、13)将板状工件(P)沿上下方向传送，并且在对置配置的一对抛光辊(14、15)之间利用所述抛光辊(14、15)同时研磨传送来的该板状工件(P)的两面。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨装置，其利用输送机构输送具有挠性的板状工件，且在该输送机构进行输送的输送中途利用抛光辊研磨所述板状工件，所述研磨装置的特征在于，在由所述输送机构形成的输送路径的中途对置配置用于夹持所述板状工件的一对夹持辊，利用所述夹持辊沿上下方向传送所述板状工件，并且在对置配置的一对所述抛光辊的彼此之间利用所述抛光辊同时研磨传送来的所述板状工件的两面。
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