[发明专利]探针无效
| 申请号： | 200980127951.2 | 申请日： | 2009-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN102099692A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 小松茂和 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 探针具有与被检查体接触的接触部。具有导电性的接触颗粒均匀地布置在接触部的内部。一部分的接触颗粒在接触部的被检查体侧的表面上突出。在接触部的与被检查体侧相反的面上布置有具有弹性的导电性部件。探针还具有形成有通孔的绝缘片，接触部贯穿通孔而布置。接触部的上部由不包含接触颗粒的导体构成。在导体的与被检查体侧相反的面上还布置有其它导体。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 | ||
【主权项】：
一种探针，所述探针将接触部接触到被检查体来检查被检查体的电特性，其中，所述接触部在其内部分散布置有多个具有导电性的接触颗粒，并且一部分所述接触颗粒在接触部的被检查体侧的表面上突出，在所述接触部的与被检查体侧相反的面上布置有具有弹性的导电性部件。
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