[发明专利]搬运机器人的示教方法有效
| 申请号： | 200980130641.6 | 申请日： | 2009-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN102112274A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 藤井佳词 | 申请（专利权）人： | 爱发科股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/22 | 分类号： | B25J9/22;G05B19/42;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王轶;尹文会 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有高可靠性且能迅速进行示教的低成本的搬运机器人的示教方法。对搬运机器人示教其搬运动作，该搬运机器人以支承欲在多个处理室(B、C)间进行处理的基板(S)的状态而在同一平面内进行旋转及伸缩动作，从而将上述基板(S)搬运到规定的位置。此时，使用至少一个检测单元(2)，该检测单元(2)被配置为当搬运机器人在上述室(B、C)间搬运基板(S)时对基板进行检测，使搬运机器人进行搬运动作，由上述检测单元(2)测出预先设置在搬运机器人的工作部(11、12)的至少一个标识部(16、17)，依据该检测位置(2a、2b)，来示教成为旋转及伸缩动作中的至少一方的起点的基准位置。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 机器人 方法 | ||
【主权项】：
一种搬运机器人的示教方法，是对搬运机器人示教其搬运动作的方法，该搬运机器人以支承欲在多个处理室间进行处理的基板的状态而在同一平面内进行旋转及伸缩动作，从而将上述基板搬运到规定的位置，该搬运机器人的示教方法的特征在于，使用至少一个检测单元，该检测单元被配置为当搬运机器人在上述处理室间搬运基板时对基板进行检测，使上述搬运机器人进行搬运动作，由上述检测单元测出预先设置在上述搬运机器人的工作部的至少一个标识部，依据该检测位置，来示教成为上述旋转及伸缩动作中的至少一方的起点的基准位置。
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