[发明专利]缺陷检查系统及缺陷检查方法有效
| 申请号： | 200980133544.2 | 申请日： | 2009-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN102132148A | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 金子静则;夜久昌司;儿玉孝太郎 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 对从第一线状光源照射并通过板状体的透射光利用第一摄像机拍摄明场图像时，在第一摄像机的透射光的光路中的位于第一摄像机前方的位置上设置刀刃状的光路屏蔽部件。从拍摄到的明场图像中，将比明场图像的背景成分的信号值高的信号值作为阈值，从明场图像中搜索明部的区域，作为搜索的结果提取出明部的区域时，使用该明部的区域，判别在板状体是否存在缺陷区域。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种缺陷检查系统，检测具有透明性的板状体所存在的缺陷，其特征在于，具备：第一缺陷检查装置，具有：第一光源，向所述板状体的面投射光；第一摄像机，使通过所述板状体的透射光会聚而拍摄明场图像；及刀刃状的光路屏蔽部件，设置在所述第一摄像机的透射光的光路中的位于所述第一摄像机前方的位置；及处理装置，从通过所述第一摄像机拍摄到的明场图像中，将比明场图像的背景成分的信号值高的信号值作为阈值，从明场图像中搜索明部的区域，作为搜索的结果提取出明部的区域时，使用该明部的区域判别在所述板状体是否存在缺陷区域。
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