[发明专利]具有移动适配部分的用以耦接O形环的狭缝化TSSL阀门有效
| 申请号： | 200980134015.4 | 申请日： | 2009-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN102138033A | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 梅兰·贝德亚特;栗田真一;约翰·M·怀特;苏希尔·安瓦尔;稻川真 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/24 | 分类号： | F16K1/24 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;钟强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在此公开的实施方式与一种用于密封一腔室中的开口的狭缝阀门装置有关。当狭缝阀门开口收缩时，压向该腔室以密封一狭缝阀开口的一狭缝阀门与该腔室一起移动，使得受压于该狭缝阀门与该腔室之间的一O形环与该狭缝阀门和该腔室一起移动。因此，O形环对腔室发生摩擦的情形会较少。由于较少摩擦，产生的颗粒可较少，因而可延长O形环的使用寿命。由于O形环的使用寿命较长，基板处理量即可增加。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 移动 部分 用以 狭缝 tssl 阀门 | ||
【主权项】：
一种狭缝阀门，包含：一第一主体；一第二主体，其耦接至该第一主体于其一边缘处，且与该第一主体分隔，使得在该第一主体与该第二主体之间存在一第一狭缝；一第一轴承板，其耦接于该第一主体与该第二主体之间；一第一伸缩囊，其耦接于该第一主体与该第二主体之间，且在该第一狭缝上方；以及一第一夹钳，其耦接至该第一伸缩囊、该第一主体与该第二主体。
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