[发明专利]带有薄膜的玻璃基板的制造方法无效
申请号: | 200980134202.2 | 申请日: | 2009-08-21 |
公开(公告)号: | CN102137820A | 公开(公告)日: | 2011-07-27 |
发明(设计)人: | 岸本晓;田部昌志;今村努 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
主分类号: | C03B23/023 | 分类号: | C03B23/023;C03C17/00;C23C14/02;G02B5/26;G02B5/28 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种带有薄膜的玻璃基板的制造方法,该制造方法能够容易地制造翘曲少的带有薄膜的玻璃基板。该制造方法进行变形工序和薄膜形成工序,在该变形工序中,通过使玻璃基板(10)塑性变形而将玻璃基板(10)的主面(10a)制成弯曲形状,以使薄膜形成后的最终状态下玻璃基板(10)的主面(10a)变为平坦;在薄膜形成工序中,在经塑性变形的玻璃基板(10)的主面(10a)上形成薄膜(11)。 | ||
搜索关键词: | 带有 薄膜 玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种带有薄膜的玻璃基板的制造方法,其特征在于:其为制造在玻璃基板的主面上形成有薄膜的带有薄膜的玻璃基板的方法,在所述薄膜形成后,通过使所述薄膜相对于所述玻璃基板在所述薄膜的面方向上相对地膨胀或收缩,使所述玻璃基板变形,所述制造方法包括:变形工序,通过使所述玻璃基板塑性变形,将所述玻璃基板的所述主面制成弯曲形状,以使在所述薄膜形成后的最终状态下所述玻璃基板的所述主面变为平坦;和薄膜形成工序,在所述经塑性变形的玻璃基板的主面上形成所述薄膜。
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