[发明专利]支援发现检查对象物的缺陷的系统及方法有效
| 申请号： | 200980134528.5 | 申请日： | 2009-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN102144155A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 冈田雅州;土居意弘;森由美;植山晋辅 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01M11/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;孟祥海 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于支援发现检查对象物的缺陷的系统及方法。在捕获单元(20)中，接收部(21)从照相机(10)接收捕获图像并存储到发送队列(22)中，收发部(23)将捕获图像发送给图像处理单元(30)，并且存储到缓存器(24)中。在图像处理单元(30)中，收发部(31)接收捕获图像并存储到缓存器(32)中，图像分析部(33)根据捕获图像判断缺陷图像，缺陷信息生成部(34)生成用于确定缺陷图像的缺陷信息，收发部(31)将缺陷信息发送给捕获单元(20)。在捕获单元(20)中，收发部(23)接收缺陷信息，图像提取部(25)根据缺陷信息从捕获图像中提取缺陷图像，发送部(26)将缺陷图像发送给结果保存单元(40)。根据本发明，能够避免被连接在进行用于判断检查对象物的缺陷部分的图像的图像处理的单元上的通信线路的带宽不足这样的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 支援 发现 检查 对象 缺陷 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于支援发现检查对象物的缺陷的系统，其特征在于，包括：获取部，用于获取通过对上述检查对象物进行拍摄而得到的摄影图像；判断部，通过第一通信线路连接着上述获取部，用于判断由上述获取部所获取的上述摄影图像中的、包含上述检查对象物缺陷部分的区域的图像即缺陷图像；以及保存部，通过第二通信线路连接着上述获取部，用于保存由上述判断部判断出的上述缺陷图像，上述获取部通过上述第一通信线路向上述判断部发送上述摄影图像，并且将上述摄影图像存储在本身的存储器内，当通过上述第一通信线路从上述判断部接收到用于确定上述缺陷图像的图像确定信息时，通过上述第二通信线路向上述保存部发送由存储在上述存储器内的上述摄影图像中的上述图像确定信息所确定的上述缺陷图像。
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