[发明专利]铁素体附着体及其制造方法

摘要

本发明提供一种具备基体(3)和附着在该基体(3)上的铁素体膜的铁素体附着体及制造该铁素体附着体的制造方法。该制造方法中，在基体(3)的背面侧以空出100μm以上的空间的状态支承基体(3)，将至少含有第一铁离子的反应液和至少含有氧化剂的氧化液从反应液喷嘴(1)及氧化液喷嘴(2)向基体(3)的正面侧供给，对反应液和所述氧化液施加由重力以外的因素引起的2～150m/s2的加速度。

主权项

一种制造方法，其是制造具备基体和附着在该基体上的铁素体膜的铁素体附着体的制造方法，其中，在所述基体的背面侧以空出100μm以上的空间的状态支承所述基体，将至少含有第一铁离子的反应液和至少含有氧化剂的氧化液向所述基体的正面侧供给，对所述反应液和所述氧化液施加由重力以外的因素引起的2～150m/s2的加速度。