[发明专利]用于薄膜沉积的铌和钒有机金属前体有效
| 申请号： | 200980139579.7 | 申请日： | 2009-10-06 |
| 公开（公告）号： | CN102177163A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | N·布拉斯科;A·克雷亚-安娜克莱托;A·潘沙尔;A·曹纳 | 申请（专利权）人： | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 |
| 主分类号： | C07F9/00 | 分类号： | C07F9/00;C23C16/18 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 林柏楠;李颖 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： |
式Cp(R1)mM(NR22)2(＝NR3)(I)的化合物：其中：M是独立地选自钒(V)或铌(Nb)的金属，且m≤5；R1是有机配体，各自独立地选自H、包含1至6个碳原子的直链或支化烃基；R2是有机配体，各自独立地选自H、包含1至6个碳原子的直链或支化烃基；R3是选自H、包含1至6个碳原子的直链或支化烃基的有机配体。 |
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| 搜索关键词： | 用于 薄膜 沉积 有机 金属 | ||
【主权项】：
1.式Cp(R1)mM(NR22)2(＝NR3)(I)的化合物：![]()
其中：M是独立地选自钒(V)或铌(Nb)的金属，且m≤5；R1是有机配体，各自独立地选自H、包含1至6个碳原子的直链或支化烃基；R2是有机配体，各自独立地选自H、包含1至6个碳原子的直链或支化烃基；R3是有机配体，选自H、包含1至6个碳原子的直链或支化烃基。
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