[发明专利]基板输送机器人及系统有效
| 申请号： | 200980139736.4 | 申请日： | 2009-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN102177003A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 桥本康彦 | 申请（专利权）人： | 川崎重工业株式会社 |
| 主分类号： | B25J9/04 | 分类号： | B25J9/04;H01L21/677 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 崔幼平;杨楷 |
| 地址： | 日本兵库县神户市*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的机器人具备：末端执行器，大致水平地保持基板；垂直驱动单元，将末端执行器沿垂直方向驱动；水平驱动单元，将垂直驱动单元沿水平方向驱动；以及旋转驱动单元，驱动水平驱动单元绕垂直方向的旋转轴线旋转，在垂直驱动单元上连接着末端执行器的端部。在水平驱动单元上连接着垂直驱动单元的端部。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 机器人 系统 | ||
【主权项】：
一种基板输送机器人，其特征在于，具备：末端执行器，大致水平地保持基板；垂直驱动单元，将上述末端执行器沿垂直方向驱动；水平驱动单元，将上述垂直驱动单元沿水平方向驱动；以及旋转驱动单元，驱动上述水平驱动单元绕垂直方向的旋转轴线旋转；在上述垂直驱动单元上连接着上述末端执行器的端部；在上述水平驱动单元上连接着上述垂直驱动单元的端部。
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