[发明专利]多光束曝光扫描方法和设备，以及用于制造印刷版的方法无效
| 申请号： | 200980148960.X | 申请日： | 2009-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN102239449A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 宫川一郎 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B41C1/05;G03F7/24 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 陆锦华;刘光明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的一个方面提供一种通过利用多个光束同时地照射对象物而对相同扫描线进行多次曝光和扫描以雕刻对象物的表面的多光束曝光扫描方法。所述方法包括：利用第一光束组形成第一形状(110)的第一曝光扫描过程，所述第一形状限定将在对象物的曝光表面上保留的目标平坦形状(121)和围绕目标平坦形状(121)的倾斜部(122)的轮廓形状；以及第二曝光扫描过程，用于通过利用第二光束组来曝光和扫描与在第一曝光扫描过程中曝光和扫描的扫描线相同的扫描线而形成第二形状(120)，所述第二形状限定目标平坦形状(121)和围绕目标平坦形状(121)的倾斜部(122)的最终形状。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 曝光 扫描 方法 设备 以及 用于 制造 印刷 | ||
【主权项】：
一种通过利用多个光束同时地照射对象物而对相同扫描线进行多次曝光和扫描以雕刻所述对象物的表面的多光束曝光扫描方法，所述方法包括：利用第一光束组形成第一形状的第一曝光扫描过程，所述第一形状限定将在所述对象物的曝光表面上保留的目标平坦形状和围绕所述目标平坦形状的倾斜部的轮廓形状；以及通过利用第二光束组曝光和扫描与在所述第一曝光扫描过程中曝光和扫描的扫描线相同的扫描线，从而形成第二形状的第二曝光扫描过程，所述第二形状限定所述目标平坦形状和围绕所述目标平坦形状的倾斜部的最终形状。
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