[发明专利]光固化性组合物及表面具有微细图案的成形体的制造方法无效

专利信息
申请号: 200980149004.3 申请日: 2009-11-30
公开(公告)号: CN102239197A 公开(公告)日: 2011-11-09
发明(设计)人: 川口泰秀 申请(专利权)人: 旭硝子株式会社
主分类号: C08F290/06 分类号: C08F290/06;B29C59/02;C08G18/67;H01L21/027
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 刘多益
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供可获得同时兼具脱模性和柔软性的固化物的光固化性组合物以及可制造表面具有精密地转印模具的反转图案而得的微细图案的柔软的成形体的方法。本发明使用光固化性组合物(20),该光固化性组合物(20)包含:化合物(A),该化合物(A)具有2个以上的氨基甲酸酯键,具有2个以上的(甲基)丙烯酰氧基,且质均分子量小于2000;化合物(B),该化合物(B)具有氟原子,且具有1个以上的碳-碳不饱和双键;化合物(C),该化合物(C)具有1个(甲基)丙烯酰氧基;光聚合引发剂(D);含氟表面活性剂(E);(A)~(E)的总量(100质量%)中,(A)为10~50质量%,(B)为5~35质量%,(C)为15~75质量%,(D)为1~12质量%,(E)为0.1~5质量%。
搜索关键词: 光固化 组合 表面 具有 微细 图案 成形 制造 方法
【主权项】:
光固化性组合物,其特征在于,包含:化合物(A),该化合物(A)具有2个以上的氨基甲酸酯键,具有2个以上的(甲基)丙烯酰氧基,且质均分子量小于2000,且25℃下的粘度在20Pa·s以下;化合物(B),该化合物(B)具有氟原子,且具有1个以上的碳‑碳不饱和双键,该化合物(B)不为化合物(A);化合物(C),该化合物(C)具有1个(甲基)丙烯酰氧基,该化合物(C)不为化合物(B);光聚合引发剂(D);含氟表面活性剂(E);化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)、光聚合引发剂(D)和含氟表面活性剂(E)的总量100质量%中,化合物(A)为10~50质量%,化合物(B)为5~35质量%,化合物(C)为15~75质量%,光聚合引发剂(D)为1~12质量%,化合物(E)为0.1~5质量%。
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