[发明专利]用于网板印刷图案对准的增强型检视系统

摘要

本发明的具体实施例通常也提供太阳能电池形成工艺，其包含形成金属接触覆盖于重度掺杂区域上，该重度掺杂区域以期望的图案形成于基板的表面上。本发明的具体实施例也提供检验系统以及支撑硬件，其被使用以可靠地将类似形状或图案化的金属接触结构安置于图案化重度掺杂区域上，以容许构成欧姆接触。金属接触结构，如指状物及汇流条，形成于重度掺杂区域上，因此可在这两个区域之间形成高质量电气连接。

主权项

一种太阳能电池形成工艺，包括下列步骤：安置基板于基板接收表面上，其中该基板具有第一表面以及形成于其上的图案化经掺杂区域；确定该基板上的该图案化经掺杂区域的实际位置，其中确定实际位置包括下列步骤：朝向该第一表面发射电磁辐射；自该第一表面的的区域接收具有第一波长的电磁辐射；使用接收自该基板上该图案化经掺杂区域的该确定的实际位置的信息，将网板印刷蒙片中的一个或多个特征对准该图案化经掺杂区域；以及在将该一个或多个特征对准该图案化经掺杂区域后，经过该一个或多个特征沉积材料层于该图案化经掺杂区域的至少一部分上。