[发明专利]卷轴装置和利用其的薄膜装载装置无效
| 申请号： | 200980154199.0 | 申请日： | 2009-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN102272028A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 柳基雄;李相律 | 申请（专利权）人： | SEC株式会社 |
| 主分类号： | B65H18/04 | 分类号： | B65H18/04;B65H18/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 金光军;韩明星 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了卷轴装置和利用该卷轴装置的薄膜装载装置。所公开的卷轴装置包括：卷绕有半导体薄膜的供给卷轴；与所述供给卷轴布置在同一轴线上，卷绕有从所述半导体薄膜剥离的保护薄膜的卷收卷轴；分别驱动所述供给卷轴和卷收卷轴的驱动单元。 | ||
| 搜索关键词： | 卷轴 装置 利用 薄膜 装载 | ||
【主权项】：
一种卷轴装置，其特征在于包括：卷绕有薄膜的供给卷轴；卷收卷轴，其与所述供给卷轴布置在同一轴线上，用于卷绕从所述薄膜剥离的保护薄膜；驱动单元，分别驱动所述供给卷轴和卷收卷轴。
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