[发明专利]气体激光振荡器

摘要

本发明的气体激光振荡器具有振荡器箱体、一对光学基台、一对波纹管及弹性构件，该一对光学基台设置在振荡器箱体的两侧，由在光轴方向延伸的多个支承杆相互平行地连接，分别对构成光共振器的光学部件进行支承；该一对波纹管及弹性构件连接一对光学基台与振荡器箱体之间，振荡器箱体具有主体部和盖部，该主体部由框状的金属材料构成，具有在光轴方向隔开间隔配置的一对侧板，以及分别连接侧板的上端之间与下端之间的在光轴方向延伸的上板(12)及下板(13)；该盖部由金属材料构成，具有外壁(31)和侧壁，并将主体部的各个开口闭塞，该外壁(31)在光轴方向延伸并且与光轴垂直的截面具有圆弧形状，该侧壁连接到外壁(31)的光轴方向的两端部；形成圆弧状的外壁(31)，以便当由固定构件将盖部固定于主体部时，在盖部的与主体部的连接部产生朝振荡器箱体的外侧的高度方向的力。

主权项

一种气体激光振荡器，具有振荡器箱体、一对光学基台、一对波纹管及弹性构件，该振荡器箱体由金属材料构成；该一对光学基台设置在上述振荡器箱体的两侧，由在光轴方向延伸的至少3根支承杆相互平行地连接，分别对构成光共振器的光学部件进行支承；该一对波纹管及弹性构件连接上述一对光学基台与上述振荡器箱体之间，其特征在于：在设上述光共振器的光轴方向为X轴，设与上述光轴方向垂直的高度方向为Z轴，设与上述X轴及Z轴垂直的方向为Y轴的场合下，上述振荡器箱体具有主体部和盖部，该主体部由框状的金属材料构成，具有在X轴方向隔开间隔配置的一对侧板，以及分别连接上述侧板的Z轴方向的上端之间与下端之间的在X轴方向延伸的上板及下板；该盖部由金属材料构成，具有外壁和侧壁，并将上述主体部的各个开口闭塞，该外壁在X轴方向延伸并且与X轴垂直的截面具有圆弧形状，该侧壁连接到上述外壁的X轴方向的两端部，形成圆弧状的上述外壁，以便当由固定构件将上述盖部固定于上述主体部时，在上述盖部的与上述主体部的连接部产生朝上述振荡器箱体的外侧的Z轴方向的力。