[发明专利]具有无限驱动介质的搬送系统及搬送方法有效
申请号: | 200980158648.9 | 申请日: | 2009-06-02 |
公开(公告)号: | CN102388444A | 公开(公告)日: | 2012-03-21 |
发明(设计)人: | 木股友也 | 申请(专利权)人: | 村田机械株式会社 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 庞乃媛;黄剑锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明在环行移动的环形带上安装有多个搬运器,并且测定环形带的移动量,在站上设置机械手、使机械手在环行方向和上下方向上移动的驱动部、沿着环行方向在机械手的上游侧检测搬运器的第一搬运器传感器、在第一搬运器传感器的更下游侧检测搬运器的第二搬运器传感器。在搬运器通过了第二搬运器传感器时,校验传送带的移动量是否与二个搬运器传感器间的距离一致。在开始交接动作之前,能够确认编码器是否正常等。 | ||
搜索关键词: | 具有 无限 驱动 介质 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种搬送系统具有:无限驱动介质,进行环行移动;多个搬运器,被安装于所述无限驱动介质,保持物品并进行搬送;多个站,沿着所述无限驱动介质而设置;以及移动量传感器,测定所述无限驱动介质的移动量,所述站的每一个具有:机械手,与所述搬运器之间交接物品;驱动部,使所述机械手在所述无限驱动介质的环行方向和上下方向上移动;第一搬运器传感器,沿着所述无限驱动介质的环行方向,在机械手的上游侧的规定位置检测所述搬运器;第二搬运器传感器,在所述第一搬运器传感器的下游侧检测搬运器;以及信号处理部,基于从利用所述第一搬运器传感器检测出所述搬运器的时间点起的、由所述移动量传感器测定出的移动量,通过所述驱动部起动机械手,并且在所述第二搬运器传感器检测出所述搬运器时,将所述第一搬运器传感器检测出所述搬运器起的由所述移动量传感器测定出的移动量与第一搬运器传感器和第二搬运器传感器间的距离进行比较,在它们之间具有容许值以上的误差的情况下,通过所述驱动部使机械手的动作停止。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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