[发明专利]三维测量装置

摘要

本发明的课题在于提供一种三维测量装置，其不采用远心光学系统，谋求测量精度的提高。具有三维测量装置的基板检查设备包括照射装置(4)，其对印刷有焊锡膏的印刷基板的表面，照射条纹状的图案光；对印刷基板上的已照射的部分进行摄像用的CCD照相机(5)；控制装置，其根据通过CCD照相机(5)摄像的图像数据，进行印刷基板上的各坐标位置的高度测量。另外，控制装置根据CCD照相机(5)的高度(Lco)，与对印刷基板照射的图案光的照射角(α)，对会由CCD照相机(5)的透镜(5a)的视场角产生的测量数据的偏差进行补偿。

主权项

一种三维测量装置，其包括：照射机构，该照射机构可至少对被测量物，照射具有条纹状的光强度分布的图案光；摄像机构，该摄像机构可对来自照射了上述图案光的被测量物的反射光进行摄像；图像处理机构，该图像处理机构至少根据通过上述摄像机构摄制的图像数据，进行上述被测量物上的各坐标位置的高度测量，其特征在于三维测量装置包括补偿运算机构，该补偿运算机构至少根据上述摄像机构的高度信息，与对上述被测量物照射的图案光的照射角信息，对相对通过上述图像处理机构测量的上述被测量物上的测量对象点的坐标数据和高度数据，由上述摄像机构的透镜的视场角产生的偏差进行补偿。