[发明专利]线路基板及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201010003685.7 申请日: 2010-01-14
公开(公告)号: CN102129102A 公开(公告)日: 2011-07-20
发明(设计)人: 黄瀚霈;张振铨;张成瑞 申请(专利权)人: 欣兴电子股份有限公司
主分类号: G02B6/43 分类号: G02B6/43
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开一种线路基板及其制作方法。该线路基板的制作方法是:首先,形成一光波导层在一第一基板的一表面上。移除部分光波导层,以形成一沟槽,而每个沟槽具有一斜面。接着,在斜面上形成一第一反射层。移除部分第一基板,以形成一光通孔,光通孔对应位于第一反射层的上方,且光通孔具有第一孔径以及第二孔径,其中第一孔径小于第二孔径。之后,形成一第二反射层在光通孔的内壁上。
搜索关键词: 线路 及其 制作方法
【主权项】:
一种线路基板的制作方法,包括:形成一光波导层在一第一基板上;移除部分该光波导层,以形成至少一沟槽,各该沟槽具有至少一斜面;在该至少一斜面上形成一第一反射层;移除部分该第一基板,以形成至少一光通孔,该光通孔对应位于该第一反射层的上方,且该光通孔具有第一孔径以及第二孔径,其中该第一孔径小于该第二孔径,该第一孔径位于该光通孔的出光端,而该第二孔径位于该光通孔的入光端;以及形成一第二反射层在各该光通孔的内壁上。
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