[发明专利]用于监测光刻胶保存时间的方法和系统无效
| 申请号： | 201010023133.2 | 申请日： | 2010-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN102129182A | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 武咏琴;张力群 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;顾珊 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于监测光刻胶保存时间的方法和系统。该方法包括识别光刻胶的类型；确定与所述识别的光刻胶的类型相对应的理论保存期限；测量所述光刻胶的光刻胶瓶的温度；当所述测量的光刻胶瓶的温度大于0℃时记录所述光刻胶瓶的使用时间；以及当所述记录的所述光刻胶瓶的使用时间达到或者超过所述理论保存期限时发出报警信号。该系统包括识别单元、温度测量单元、控制单元、存储单元和报警单元。根据本发明的用于监测光刻胶保存时间的方法和系统，不仅可以大大地减少人工监测导致的错误和误差，而且可以节省工程师或者科研人员的时间与精力，并且可以重复多次使用，从而节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 监测 光刻 保存 时间 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于监测光刻胶的保存时间的方法，包括如下步骤：识别光刻胶的类型；确定与所述识别的光刻胶的类型相对应的理论保存期限；测量所述光刻胶的光刻胶瓶的温度；当所述测量的光刻胶瓶的温度大于0℃时记录所述光刻胶瓶的使用时间；以及当所述记录的所述光刻胶瓶的使用时间达到或者超过所述理论保存期限时发出报警信号。
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