[发明专利]三氯氢硅三塔差压耦合节能精馏提纯系统及操作方法

摘要

本发明涉及三氯氢硅三塔差压耦合节能精馏提纯系统及操作方法。三氯氢硅三塔差压耦合节能精馏提纯系统，包括一级塔、二级塔、三级塔；三个塔按压力从低到高或者从高到低串连，并在一级塔二级塔之间和二级塔三级塔之间各设置有冷凝再沸器；三个塔顺序可以做脱轻、脱重、再脱轻用途，也可以是脱重、脱轻、再脱重组合使用。根据三氯氢硅精馏过程全塔组成接近、温度接近的特点，本发明提出一种三氯氢硅差压耦合精馏工艺有望大幅降低生产成本和能耗，理论上精馏节能近70％。该技术显著提高多晶硅材料的市场竞争力，推动光伏和信息材料产业链发展。

主权项

三氯氢硅三塔差压耦合节能精馏提纯系统，包括一级塔、二级塔、三级塔；其特征是三个塔按压力从低到高或者从高到低串连，并在一级塔二级塔之间和二级塔三级塔之间各设置有冷凝再沸器；三个塔顺序做脱轻、脱重、再脱轻用途，或是脱重、脱轻、再脱重用途。