[发明专利]等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201010103970.6 | 申请日： | 2010-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN101800149A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 田中诚治;藤永元毅 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种等离子体处理装置，其即使在发生处理异常等的情况下也能够抑制生产率的降低。该等离子体处理装置设置有根据处理条件对被处理体(G)进行等离子体处理的处理室，该等离子体处理装置具有：存储有与处理条件不同的多个再处理条件的存储部；以及具有监视等离子体处理中有无发生异常的监视功能、和判定发生的异常的种类的判定功能的控制系统(50)，在等离子体处理中发生异常的情况下，控制系统(50)根据判定的异常的种类，从多个再处理条件中选择一个再处理条件，对被处理体(G)进行再处理。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体处理装置，其设置有根据处理条件对被处理体进行等离子体处理的处理室，该等离子体处理装置的特征在于，具有：存储有与所述处理条件不同的多个再处理条件的存储部；以及具有监视所述等离子体处理中有无发生异常的监视功能、和判定发生的异常的种类的判定功能的控制系统，其中在所述等离子体处理中发生异常的情况下，所述控制系统根据所判定的异常的种类，从所述多个再处理条件中选择一个再处理条件，对所述被处理体进行再处理。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010103970.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
