[发明专利]感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜及其制造方法

摘要

本发明涉及一种感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜及其制造方法。即使采用缝模涂敷法作为涂敷方法，该感射线性树脂组合物也能显示出优良的膜厚均一性，并且具有高的射线敏感度，在显影工序中，具有即使超出最佳显影时间仍能够形成良好的图案形状的显影裕度；该层间绝缘膜具有高耐热性、高耐溶剂性、高透光率、低介电常数等各种优良的性能。上述感射线性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)1，2-醌二叠氮化合物和(C)具有硅氧烷链的特定聚合物。层间绝缘膜由上述感射线性树脂组合物形成。

主权项

1.一种感射线性树脂组合物，其特征在于含有：(A)碱可溶性树脂；(B)1，2-醌二叠氮化合物；以及(C)含有(c1)下述式(1⁰)表示的化合物、(c2)下述通式(2⁰)表示的化合物和(c3)具有下述通式(3)表示的基团的聚合性不饱和化合物的聚合性不饱和化合物的共聚物，CH₂＝CR¹COO-C_αH_2α-C_βF_2β+1            (1⁰)式(1⁰)中，R¹为氢原子或甲基，α为0～6的整数，β为1～20的整数，CH₂＝CR²COO-(C_γH_2γ-O)_a-R³              (2⁰)式(2⁰)中，R²为氢原子或甲基，R³为碳原子数为1～12的烷基，γ为2或3，a为重复单元数，其平均数值为1～30，式(3)中，R⁴、R⁵、R⁶、R⁷和R⁸各自独立地为碳原子数为1～20的烷基、苯基或下述通式(4)表示的基团，b为0～3的整数，式(4)中，R⁹、R¹⁰和R¹¹各自独立地为碳原子数为1～20的烷基或苯基，c为0～3的整数。