[发明专利]用于多晶硅垂直定向生长的随动隔热环热场结构

摘要

本发明涉及多晶硅铸锭炉设计与制造技术领域，旨在提供用于多晶硅垂直定向生长的随动隔热环热场结构。该热场结构包括包括内设有侧面包围式的隔热笼体的炉室，坩埚及热场均置于隔热笼体中，隔热笼体的上端与提升装置相连；隔热笼体上下分别设置顶部保温板和下保温层，其中顶部保温板固定悬挂于电极上，下保温层及所述热交换台均固定于支撑柱上，顶部保温板与隔热笼体上端活动相接、下保温层与隔热笼体下端活动相接；一个环形的随动隔热环通过数个连接装置固定在隔热笼体的内部。本发明设计合理，能够增大多晶硅晶粒，减少晶界，改善晶体生长方向垂直度，从而提高多晶硅铸锭品质，同时随动隔热环也起到了降低能耗的作用。

主权项

一种用于多晶硅垂直定向生长的随动隔热环热场结构，包括置于炉室内的坩埚，坩埚的热场包括顶部加热器、侧部加热器和位于坩埚底部的热交换台，其中顶部加热器和侧部加热器固定于电极上；其特征在于：所述炉室内设有侧面包围式的隔热笼体，所述坩埚及热场均置于隔热笼体中，隔热笼体的上端与提升装置相连；隔热笼体上下分别设置顶部保温板和下保温层，其中顶部保温板固定悬挂于电极上，下保温层及所述热交换台均固定于支撑柱上，顶部保温板与隔热笼体上端活动相接、下保温层与隔热笼体下端活动相接；一个环形的随动隔热环通过数个连接装置固定在隔热笼体的内部。