[发明专利]一种平板显示用玻璃基板蚀刻液有效
| 申请号： | 201010109119.4 | 申请日： | 2010-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN101774767A | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 冯卫文 | 申请（专利权）人： | 绵阳艾萨斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 621000四川省绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平板显示用玻璃基板蚀刻液。该蚀刻液由氟化氢吡啶盐、强酸、水和乙二胺四乙酸组成。各组分占蚀刻液总重的百分比分别为：氟化氢吡啶盐：10-20％；强酸：30-70％；乙二胺四乙酸：0.5-5％；余量为水。该蚀刻液是一种安全、稳定、高效的蚀刻液，能够很好的解决蚀刻过程中产生的难溶性副产物问题，同时也提高了蚀刻速率和蚀刻效果。该蚀刻液适用于TFT等玻璃基板的减薄。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平板 显示 玻璃 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种平板玻璃蚀刻液，是由氟化氢吡啶盐、强酸、水和乙二胺四乙酸组成；所述氟化氢吡啶盐、强酸和乙二胺四乙酸占所述平板玻璃蚀刻液总重的百分比分别为：10-20％、30-70％和0.5-5％，余量为水。
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