[发明专利]振动片和振子有效
| 申请号： | 201010115312.9 | 申请日： | 2010-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN101807897A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 石井昌宏;舟川刚夫 | 申请（专利权）人： | 爱普生拓优科梦株式会社;精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/205 | 分类号： | H03H9/205 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供振动片和振子。利用振动片的正面和背面来配置配线，容易实现振动片的小型化。该振动片具有：下部电极(21，22，23)，其设置在振动臂(11，12，13)的在厚度方向上相对的第1面(16a)和第2面(16b)中的第1面(16a)上；压电膜(31，32，33)，其形成在下部电极(21，22，23)的上方；上部电极(51，52，53)，其形成在下部电极(21，22，23)和压电膜(31，32，33)的上方；配线(28，58)，其与下部电极(21，22，23)和上部电极(51，52，53)连接，与上部电极(51，52，53)连接的配线(58)以围住振动臂(11，12，13)的方式经由振动臂(11，12，13)的侧面被引出至振动臂(11，12，13)的第2面(16b)。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 | ||
【主权项】：
一种振动片，该振动片具有3个以上的振动臂以及连接所述振动臂的基部，所述振动臂在厚度方向上振动，且相邻的所述振动臂朝彼此相反的方向振动，该振动片的特征在于，具有：下部电极，其设置在所述振动臂的在厚度方向上相对的第1面和第2面中的所述第1面上；压电膜，其形成在所述下部电极的上方；上部电极，其形成在所述下部电极和所述压电膜的上方；以及配线，其与所述下部电极和所述上部电极连接，与所述上部电极连接的配线以围住所述振动臂的方式，经由所述振动臂的侧面而被引出至所述振动臂的所述第2面。
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