[发明专利]压电振子、压电振子的制造方法以及振荡器

摘要

本发明提供压电振子、压电振子的制造方法以及振荡器，不受石英板形状的限制，能够使石英板与基础基板保持平行。压电振子(1)具有：基础基板(2)；盖基板(3)；压电振动片(4)，其在石英板(17)的外表面上形成有激励电极(5、6)和安装电极(7、8)；贯通电极(13、14)，其设置在基础基板上形成的贯通孔(24、25)中；迂回电极(9、10)，其形成在基础基板的上表面上；金属凸块(11、12)，其形成在迂回电极的规定位置上，其中，压电振动片的长度方向的端部形成为渐细状，金属凸块以单侧支撑状态来安装压电振动片，沿着压电振动片的长度方向形成多个金属凸块，金属凸块的高度朝与压电振动片的长度方向的端部对应的位置而变高。

主权项

一种压电振子，该压电振子具有：基础基板；盖基板，其与所述基础基板接合，且与所述基础基板之间形成腔；压电振动片，其被收容在所述腔内，并在石英板的外表面上形成有激励电极和与该激励电极电连接的安装电极，并且，该压电振动片的长度方向的端部形成为渐薄状；贯通电极，其被设置在所述基础基板上形成的贯通孔中；迂回电极，其形成在所述基础基板上，用于将所述压电振动片与所述贯通电极电连接；以及金属凸块，其形成在所述迂回电极上，用于将所述迂回电极与所述安装电极电连接且在单侧支撑状态下安装所述压电振动片，沿着所述压电振动片的长度方向形成有多个该金属凸块，并且，它们的高度向着与所述压电振动片的长度方向上的端部对应的位置而变高。