[发明专利]利用三维极化感应空穴气提高LED发光效率的方法无效

专利信息
申请号: 201010119349.9 申请日: 2010-03-05
公开(公告)号: CN101807640A 公开(公告)日: 2010-08-18
发明(设计)人: 张连;丁凯;王军喜;段瑞飞;曾一平;李晋闽 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L33/14 分类号: H01L33/14
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 汤保平
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种利用三维极化感应空穴气提高LED发光效率的方法,包括如下步骤:步骤1:选择一衬底;步骤2:在衬底上依次生长低温成核层、低温缓冲层、n型层、有源区、宽禁带势垒层和p型层,形成外延片;步骤3:在外延片上面的一侧进行刻蚀,刻蚀深度到达n型层的表面,形成一台面;步骤4:在该台面上制备一n电极;步骤5:在p型层的上面,制备一p电极。
搜索关键词: 利用 三维 极化 感应 空穴 提高 led 发光 效率 方法
【主权项】:
一种利用三维极化感应空穴气提高LED发光效率的方法,包括如下步骤:步骤1:选择一衬底;步骤2:在衬底上依次生长低温成核层、低温缓冲层、n型层、有源区、宽禁带势垒层和p型层,形成外延片;步骤3:在外延片上面的一侧进行刻蚀,刻蚀深度到达n型层的表面,形成一台面;步骤4:在该台面上制备-n电极;步骤5:在p型层的上面,制备-p电极。
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