[发明专利]利用三维极化感应空穴气提高LED发光效率的方法无效
申请号: | 201010119349.9 | 申请日: | 2010-03-05 |
公开(公告)号: | CN101807640A | 公开(公告)日: | 2010-08-18 |
发明(设计)人: | 张连;丁凯;王军喜;段瑞飞;曾一平;李晋闽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种利用三维极化感应空穴气提高LED发光效率的方法,包括如下步骤:步骤1:选择一衬底;步骤2:在衬底上依次生长低温成核层、低温缓冲层、n型层、有源区、宽禁带势垒层和p型层,形成外延片;步骤3:在外延片上面的一侧进行刻蚀,刻蚀深度到达n型层的表面,形成一台面;步骤4:在该台面上制备一n电极;步骤5:在p型层的上面,制备一p电极。 | ||
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【主权项】:
一种利用三维极化感应空穴气提高LED发光效率的方法,包括如下步骤:步骤1:选择一衬底;步骤2:在衬底上依次生长低温成核层、低温缓冲层、n型层、有源区、宽禁带势垒层和p型层,形成外延片;步骤3:在外延片上面的一侧进行刻蚀,刻蚀深度到达n型层的表面,形成一台面;步骤4:在该台面上制备-n电极;步骤5:在p型层的上面,制备-p电极。
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