[发明专利]滑动零件的制造方法及滑动零件有效
| 申请号： | 201010120433.2 | 申请日： | 2004-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN101798729A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 北村哲弥;青木彦治;金田英树 | 申请（专利权）人： | 兄弟工业株式会社 |
| 主分类号： | D05B49/00 | 分类号： | D05B49/00;D05B71/00;C23C14/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 马淑香 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的滑动零件的制造方法及其滑动零件，利用UBM溅射(UnbalancedMagnetron Sputtering)而在与基材(27)的表面的滑动部(28)对应的部位连续地形成Cr被膜(29)和DLC被膜(Diamond Like Carbon)(30)，在遮蔽工序中，将具有多个圆形的孔(35)的遮蔽构件(34)大致密接状地外嵌在所述DLC被膜(30)的表面上，在蚀刻工序中，用等离子蚀刻将从遮蔽构件(34)的孔(35)露出的区域的DLC被膜(30)去除，由此，形成作为储油部(32)的凹部(31)。从而，能获得在滑动部上形成多个凹部(31)、可提高该滑动部上的润滑油的保持力进而使非烧结性提高的滑动零件。 | ||
| 搜索关键词： | 滑动 零件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种滑动零件的制造方法，该滑动零件在基材的表面的至少一部分上具有形成DLC被膜的滑动部，其特征在于，该制造方法具有：为了对所述滑动部的DLC被膜的表面的一部分进行遮蔽，而将具有可与所述滑动零件的形成有DLC被膜的滑动部外嵌的内径、且在外周具有多个孔的、由铝或陶瓷或不锈钢预先形成的筒状遮蔽构件以能够取下的方式外嵌在所述滑动部上、从而成为与其DLC被膜密接的状态的遮蔽工序；通过将位于所述遮蔽构件的孔的部分的DLC被膜进行蚀刻而在所述DLC被膜上形成凹部的蚀刻工序；在该蚀刻工序之后从所述滑动部取下所述遮蔽构件的工序。
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