[发明专利]异物检查和去除装置及异物检查去除程序无效
| 申请号： | 201010125541.9 | 申请日： | 2010-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN101832949A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 神崎豊树;大槻久仁夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场制作所 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/49 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明通过自动地判断有无要去除的异物，以减轻使用者的作业负担及排除判断误差、防止基板(W)的破损并防止作业时间的延长。异物检查和去除装置包括：获取基板表面的附着异物的异物信息的异物信息获取部(3)；将附着异物予以去除的异物去除部(4)；对针对基板表面(W1)的各区域而设定的阈值、与由异物信息获取部(3)获取的各区域的异物信息进行比较的比较部(54)；以及根据比较部(54)的比较结果，利用异物去除部(4)来将所述基板表面(W1)的异物予以去除的异物去除控制部(55)。 | ||
| 搜索关键词： | 异物 检查 去除 装置 程序 | ||
【主权项】：
一种异物检查和去除装置，其特征在于包括：异物信息获取部，获取附着在基板表面的异物的异物信息；异物去除部，将所述附着的异物予以去除；比较部，对针对所述基板表面的各区域设定的用于进行异物去除的条件、与由所述异物信息获取部获取的各区域的异物信息进行比较；以及异物去除控制部，当所述比较部的比较结果表示所述异物信息满足所述条件时，利用所述异物去除部来将所述基板表面的异物予以去除。
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