[发明专利]衬底支承设备、衬底传输设备以及电子装置制造方法无效
| 申请号： | 201010126048.9 | 申请日： | 2010-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN101901603A | 公开（公告）日： | 2010-12-01 |
| 发明（设计）人： | 厚见正浩;石田昌昭 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | G11B5/84 | 分类号： | G11B5/84;G11B5/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种衬底支承设备、衬底传输设备以及电子装置制造方法。该衬底支承设备将衬底保持部分插入到形成在衬底中的中心孔中，并通过衬底保持部分将衬底支承在竖直的方位中，该衬底支承设备包括：连接到衬底保持部分的第一连接板；第二连接板，其面对第一连接板并连接到用于将衬底传输到衬底保持器的传输机器人；构造成将第一连接板连接到第二连接板的至少三个线性的支承构件；以及插入在第一连接板与第二连接板之间的弹性的减震构件。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 支承 设备 传输 以及 电子 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种衬底支承设备，所述衬底支承设备将衬底保持部分插入到形成在衬底中的中心孔中，并且通过所述衬底保持部分将所述衬底支承在竖直的方位中，所述衬底支承设备包括：第一连接板，其连接到所述衬底保持部分；第二连接板，其面对所述第一连接板并且连接到用于将所述衬底传输到衬底保持器的传输机器人；至少三个线性的支承构件，其构造成将所述第一连接板连接到所述第二连接板；以及弹性的减震构件，其插入在所述第一连接板与所述第二连接板之间。
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