[发明专利]质量流量控制器的测试系统、测试方法、测试用程序

摘要

本发明提供一种测试系统，其无须对配管等作任何的设计变更便可低价引入到半导体制造工序等所使用的现存的气体配管系统中，且可以短时间进行基于准确的基准容积的质量流量控制器的测试。测试系统中设置有：测试用气体管线(KL)，和支流气体管线(SL)并排设置，且合流于合流后气体管线(ML)；基准容积计算部(32)，计算出由气体配管系统(GS)的配管自身所规定的基准容积；测试用参数计算部(33)，根据在由所要测试的质量流量控制器(1)进行流量控制的期间由压力测定机构(213)测定的测定压力的时间序列数据来计算出测试用参数；以及比较部(33)，将根据基准容积所设定的基准参数和测试用参数进行比较。

主权项

一种质量流量控制器的测试系统，其是气体配管系统中的质量流量控制器的测试系统，所述气体配管系统中设置有1个或多个具备质量流量控制器的支流气体管线，且在包含所述支流气体管线的多个气体管线合流之后的合流后气体管线上设置有合流后阀，所述质量流量控制器的测试系统的特征在于包括：测试用气体管线，具备流量测定机构、流量可变阀以及压力测定机构，且和所述支流气体管线并排设置，并合流于所述合流后气体管线，所述流量测定机构对气体的流量进行测定，所述流量可变阀以使所述流量测定机构所测定的测定流量成为设定流量的方式而对开度进行控制，所述压力测定机构对气体的压力进行测定；基准容积计算部，在将各支流气体管线关闭、且将所述合流后阀关闭的状态下，根据由所述压力测定机构所测定出的测定压力的时间序列数据来计算出基准容积，所述基准容积为基于流量可变阀、各支流气体管线的关闭部位、及所述合流后阀所规定的配管内的容积；测试用参数计算部，将具有所要测试的质量流量控制器的支流气体管线以外的支流气体管线在和所述基准容积计算步骤中的所述关闭部位相同的部位上关闭，根据由所述压力测定机构所测定出的测定压力的时间序列数据来计算出测试用参数；以及比较部，将基于所述基准容积而设定的基准参数和所述测试用参数进行比较。