[发明专利]一种树脂镜片、有机玻璃镜片表面超硬涂层镀膜方法

摘要

本发明公开一种树脂镜片、有机玻璃镜片表面超硬涂层镀膜方法，经过预处理、辉光放电清洗、电弧放电和碳离子沉积，在镜片表面形成非晶四面体碳薄膜，该镀膜具有良好的透光性和良好的耐腐蚀性，镀膜镜片耐磨损性比未镀膜镜片有显著提高，非晶四面体碳镀膜与树脂、有机玻璃基底间的结合力好，薄膜不易脱落，紫外光实验表明涂层能有效降低紫外光透过率；采用本发明方法制备的镀膜镜片，硬度可达85GPa以上，镀膜中的SP3键结构含量≥85％，摩擦系数小，耐磨时间长，抗磨损特性大大增强。

主权项

一种树脂镜片、有机玻璃镜片表面超硬涂层镀膜方法，其特征在于，该方法包括下列基本步骤：(1)预处理：采用去离子水浸泡镜片，用超声波清洗，最后用氮气吹干；(2)辉光放电清洗：将预处理后的镜片放入镀膜机真空室的工装转台上，向真空室充入氩气，充至真空室气压为4.0×10-1Pa，给工装转台加到400V的起辉电压，此时氩气放电形成离子轰击镜片进行清洗，清洗时间为15分钟；(3)形成非晶碳薄膜：完成辉光放电清洗后启动过滤电弧离子源，离子源的工作气压为2×10-2Pa，电弧电流为80A，石墨靶阴极的碳纯度为99.99％；通过电弧放电由石墨表面气化出碳原子和碳分子，碳原子和碳分子在放电室中进一步电离形成碳离子，经过磁过滤装置过滤掉中性碳原子和碳分子，过滤后的碳离子沉积在镜片的表面，使镜片表面形成超硬的非晶四面体碳薄膜。