[发明专利]用于高流速真空起泡器容器的防溅器有效
申请号: | 201010139333.4 | 申请日: | 2010-03-19 |
公开(公告)号: | CN101839394A | 公开(公告)日: | 2010-09-22 |
发明(设计)人: | C·M·伯特彻尔;T·A·斯泰德尔 | 申请(专利权)人: | 气体产品与化学公司 |
主分类号: | F17C13/00 | 分类号: | F17C13/00;F17C5/02;F17C6/00;F17C9/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 薛峰;谭祐祥 |
地址: | 美国宾夕*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及用于高流速真空起泡器容器的防溅器。具体地,提供了一种贮存器,其具有:浸管入口;至少一个挡盘,其定位在该浸管出口和该贮存器出口之间以便在该挡盘和该贮存器侧壁之间提供狭窄的环状空间,以便防止液滴进入出口,到达该贮存器和其侧壁的内表面;以及在该侧壁的径向向内伸出的环状偏转突出部,其邻近所述挡盘。本发明还涉及一种从具有上述结构的贮存器输送化学前体的方法。设想了液体输送和蒸气输送。 | ||
搜索关键词: | 用于 流速 真空 起泡 容器 防溅器 | ||
【主权项】:
一种贮存器,具有:终止在所述贮存器底部邻近处的浸管入口;定位在所述浸管的所述出口和所述贮存器的出口之间的至少一个挡盘,其被配置成在所述挡盘和所述贮存器侧壁内表面之间提供狭窄的环状空间;以及在所述侧壁上的径向向内伸出的环状偏转突出部,其邻近所述挡盘;所述挡盘和所述偏转突出部能够使液滴减至最少,以免其进入贮存器出口。
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