[发明专利]具穿透照明的工作台有效
| 申请号： | 201010140529.5 | 申请日： | 2010-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN101859724A | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 曾山正信 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种具穿透照明的工作台，其可以通过穿透照明来进行衬底定位，并且可使加工工具按压着进行衬底加工。本发明的具穿透照明的工作台包含：红外光源；金属制的小工作台，其在下部安装着可动机构，并且在上部形成有载置上工作台的工作台载置面；以及上由红外穿透性材料形成的工作台，其具有和所述小工作台的工作台载置面为面接触的底面、载置衬底的上表面、及使所述红外光源的红外光入射的入射侧面；并且在上工作台的内部且载置有衬底的位置下方，设置使从入射侧面入射的红外光朝上表面反射的反射面。 | ||
| 搜索关键词： | 穿透 照明 工作台 | ||
【主权项】：
一种穿透照明用工作台，其特征在于包含：红外光源；金属制的小工作台，其在下部安装着可动机构，并且在上部形成有载置上工作台的工作台载置面；以及由红外穿透性材料形成的上工作台，其具有和所述小工作台的工作台载置面为面接触的底面、以面接触状态载置衬底的整个背面的上表面、及所述红外光源的红外光所入射的入射侧面；并且在所述上工作台的内部且载置有所述衬底的位置下方，设置使从所述入射侧面入射的红外光向上表面反射的反射面，所述红外光穿透构成上工作台的红外穿透性材料而照射到衬底。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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