[发明专利]照明装置的制造装置及制造方法

摘要

本发明提供可以处理能力高地制造利用EL发光的照明装置的制造装置。本发明提供一种照明装置的制造装置，其中包括：真空室；用于使真空室处于减压或高真空状态的排气系统；以及将衬底向真空室传送的传送室。在该制造装置中，真空室包括：在从传送室传送的衬底上形成第一电极的成膜室；在第一电极上形成至少具有发光层的第一发光单元的成膜室；在第一发光单元上形成中间层的成膜室；在中间层上形成至少具有发光层的第二发光单元的成膜室；在第二发光单元上形成第二电极的成膜室；在设有第二电极的衬底上形成密封膜的成膜室；用于将衬底依次传送到各个成膜室的衬底传送部件。

主权项

一种照明装置的制造装置，包括：真空室；用于使所述真空室处于减压状态的排气系统；以及将衬底传送到所述真空室的传送室，其中，所述真空室包括：在所述衬底上形成第一电极的成膜室；在所述第一电极上形成至少具有发光层的第一发光单元的成膜室；在所述第一发光单元上形成中间层的成膜室；在所述中间层上形成至少具有发光层的第二发光单元的成膜室；在所述第二发光单元上形成第二电极的成膜室；在设有所述第二电极的所述衬底上形成密封膜的成膜室；以及用于将所述衬底依次传送到各成膜室的衬底传送部件。