[发明专利]光催化微反应器的制备方法有效
申请号: | 201010148412.1 | 申请日: | 2010-04-16 |
公开(公告)号: | CN101804315A | 公开(公告)日: | 2010-08-18 |
发明(设计)人: | 尚金堂;陈波寅;徐超;张迪 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | B01J19/00 | 分类号: | B01J19/00;B01J19/12;B01J35/02 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 张惠忠 |
地址: | 214135 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种光催化微反应器的制备方法,在硅圆片上刻蚀形成特定的硅微流槽图案,在硅微流槽两端或特定的位置局部放置适量的高温释气剂,将上述硅圆片与玻璃圆片在空气中或者真空中阳极键合,使硅圆片上的上述硅微流槽形成密封腔体,并在空气中加热至760℃~900℃,保温5~10min,高温释气剂因受热释放出气体产生正压力使得密封腔体对应的熔融玻璃呈圆管形,冷却形成玻璃微流道,在玻璃微流道上制备入口和出口,去除高温释气剂的分解残留物,将光催化剂涂覆于玻璃微流道的内管壁上,形成热成型玻璃光催化微反应器。本发明采用圆柱形的玻璃微流道作为反应器的壳体提供了较大的比表面积,成本低廉、光催化反应效率高。 | ||
搜索关键词: | 光催化 反应器 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种光催化微反应器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:第一步,在硅圆片(1)上刻蚀形成特定的硅微流槽图案,在硅微流槽两端或特定的位置局部放置适量的高温释气剂(3),第二步,将上述硅圆片(1)与硼硅玻璃圆片(2)在空气中或者真空中阳极键合,使硅圆片上的上述硅微流槽形成密封腔体(4),并在空气中加热至760℃~900℃,保温5~10min,高温释气剂因受热释放出气体产生正压力使得密封腔体(4)对应的熔融玻璃呈圆管形,冷却形成玻璃微流道(5),第三步,在玻璃微流道(5)上制备入口和出口,去除高温释气剂的分解残留物,第四步,将光催化剂涂覆于玻璃微流道的内管壁上,形成热成型玻璃光催化微反应器。
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